对角线测量操作者现今，在机床厂家加装机床硬件(如软轨、线轨等)时，大多用于传统摆放大理石板拉表等方式去校正两个轴向移动所产生的垂直度误差，方法繁复、耗时，基准大理石块自身也不存在误差，所以很难更加慢有效地的测量精确的数据。针对厂家面对的测量难题，雷尼绍激光干涉仪配有非常简单镜组，用对角线的测量方式能较慢解决问题此问题。操作步骤如下(事例：测量XY两方向对角线)一、记录X、Y两轴行程如:X行程0-500，Y行程0-500，则两条对角线移动两个方向为(D1、D2)，实际移动的起点和起点为D1:(X0,Y0-X500,Y500)、D2:(X500,Y0-X0,Y500)(留意：对角线的起点和起点应当维持一致性。)二、在D1座标末端摆放镜组。

三、一般在不动轴上摆放分光镜头(分光镜出光方位摆放固定式改向镜)，在移动轴上摆放加装杆，此时分光镜与加装杆为附近末端(程序启动点。)四、旋转改向镜，使光束打在加装杆上，此时启动程序移动轴，使改向镜的反射的光束一直打在加装杆的同一点位上，如移动到末端时，光束背离，此时转动改向镜，使光束再度打在加装杆上(此时为程序末端方位)。五、再行使移动轴驶回程序启动点，移动加装杆方位，使得光束打在加装杆上。

六、反复第四、第五步骤，使得两轴回头对角线时，全程无断光才可。七、用于RENISHAW对角线软件生成器，较慢分解程序引入系统，展开测量。

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